Ka mahi tahi a IMEC ki te matū o Mitsui ki te whakatairanga i te arumoni o te Euv Carbra Carbran Photomask Films

E ai ki te whakaurunga mana o Imec, ko te kiriata Photomask Sushproof (Pellicle) e whakamahia ana hei tiaki i te ma o nga whakaahua, me tono te mana whakahaere me te roa o te Lifespan roa.Ko nga matūriki waro nanotube (cnts) ka taea te whakapai ake i nga mahi o te kiriata-kikokore i te waa o te EuvKi te whakatutuki i te kaha o te whakaputa nui i roto i te mahi semiconductor matatau.I tua atu, ka taea e nga matūriki nanotube te kaha o te EUV mo te 1kW, na reira ko te whakatutuki i nga hiahia o nga taonga o te whakatipuranga o muri-a muri ake nei.Ko tenei hangarau kua whakaohohia te aro nui ki te umanga, na reira ka uru tahi nga roopu e rua ki te whakatipu matūriki waro nanotube ahumoana hei whakatutuki i te tono maakete.

Ko te parau tumu o te Blusproof Film Penelicle, no Mitsui Chemical

Ko Steven Scheer, te perehitini matua o te IMEC, kua roa te tautoko a te whakahaere i te kaiao semiconductor i te whakatairanga i te papa hiko hangarau.Mai i te tau 2015, i mahi tahi a IMEC me te mekameka tohatoha hei whakawhanake i nga hoahoa whakairo hou i runga i te waro nanotubes (CNS) mo te hangarau mataropu matatau Euv.Ka mea ia, "E whakapono ana matou he maarama hohonu ki te merrology, ko nga taonga o nga kiriata waroobe.. "

E ai ki te Ahumahi Ahumahi Ahumahi, ko te whakatipuranga o muri o te ASML 0.33. Ko nga punaha marama) e tautoko ana i nga punaha marama me te 2026. I tera wa, ko te New Photomask nga kiriata hou ka hokohoko ano hoki, ka taea te whakamahi mo te hanga papatipu o nga maramara me nga tukanga o te 2nm me raro.